| 石英微机电陀螺的机械耦合误差研究 |
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| 引用本文： | 林日乐,李文蕴,张桐,谢佳维,蒋昭兴,满欣,江黎.石英微机电陀螺的机械耦合误差研究[J].压电与声光,2018,40(4):526-528. |
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| 作者姓名： | 林日乐 李文蕴 张桐 谢佳维 蒋昭兴 满欣 江黎 |
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| 作者单位： | (中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060) |
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| 摘 要： | 石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺，工作时敏感芯片处于谐振状态，机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素，提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案，实验结果表明，通过改进设计，有效抑制了敏感芯片机械耦合误差，提高了陀螺的精度及环境适应性。
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| 关 键 词： | 石英 微机电陀螺 机械耦合误差 |
Study on the Mechanical Coupling Error of Quartz MEMS Gyroscope |
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| LIN Rile,LI Wenyun,ZHANG Tong,XIE Jiawei,JIANG Zhaoxing,MAN Xin,JIANG Li.Study on the Mechanical Coupling Error of Quartz MEMS Gyroscope[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2018,40(4):526-528. |
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| Authors: | LIN Rile LI Wenyun ZHANG Tong XIE Jiawei JIANG Zhaoxing MAN Xin JIANG Li |
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| Affiliation: | (The 26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quartz MEMS gyroscope mechanical coupling error |
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