激光刻蚀2μm铝/聚酰亚胺(PI)材料体系技术研究 |
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引用本文: | 刘孝丽,熊玉卿,周利成,王瑞,钟浩,任立庆,任妮.激光刻蚀2μm铝/聚酰亚胺(PI)材料体系技术研究[J].表面技术,2018,47(10):321-327. |
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作者姓名: | 刘孝丽 熊玉卿 周利成 王瑞 钟浩 任立庆 任妮 |
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作者单位: | 榆林学院能源工程学院,陕西榆林,719000;兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州,730000 |
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基金项目: | 榆林学院科研启动基金(17GK09) |
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摘 要: | 目的 研究对激光刻蚀图形形貌可能产生影响的几个参数,如激光功率、填充比等,优化激光束刻蚀制备2 μm铝膜/PI的工作参数,提高刻蚀质量。方法 利用ANSYS软件对激光刻蚀2 μm铝膜/PI过程中薄膜铝表面的能量传输及转化过程进行模拟,了解刻蚀形貌与单个脉冲的激光工艺参数的关系。根据模拟结果,使用LSP2000激光器,采用不同的激光输出功率和扫描方式、填充比等参数对样品进行刻蚀。利用扫描电镜等对激光刻蚀制备后的样品表面形貌进行研究,从而获得优化工艺参数。结果 采用波长为1064 nm的Nd:YAG激光器,利用蛇形扫描方式及45°方向填充,填充密度为0.03 mm,在激光功率5 W、激光频率20 kHz、脉宽100 ns、光斑直径40 μm、激光扫描速度为565.7 mm/s的工艺参数下,刻蚀边界整齐。结论 纳秒刻蚀过程既有光热去除,也有应力去除,激光刻蚀工艺参数的优化在一定程度上改善了刻蚀边界质量,有利于提高激光刻蚀精度。
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关 键 词: | 激光束刻蚀 铝/聚酰亚胺 图形形貌 扫描速度 应力 |
收稿时间: | 2018/1/18 0:00:00 |
修稿时间: | 2018/10/20 0:00:00 |
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