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氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积

引用本文：	陈岩,黄荣芳.氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积[J].材料科学进展,1992,6(1):56-59.

作者姓名：	陈岩黄荣芳

摘要：
关键词：	沉积陶瓷热丝CVD 金刚石薄膜
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