| MEMS微加速度传感器的系统级仿真 |
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| 引用本文： | 刘妤,温志渝,张流强,梁玉前. MEMS微加速度传感器的系统级仿真[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 293-295 |
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| 作者姓名： | 刘妤 温志渝 张流强 梁玉前 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学,重庆,400044;重庆工学院,重庆,400050
2. 重庆大学,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10176040);微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助项目(514850202JW2001);教育部科学技术研究重大项目(0216);重庆大学MEMS设计联合开放实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
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| 关 键 词： | MEMS CAD 微加速度传感器 系统级仿真 宏模型 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0293-03 |
| 修稿时间： | 2005-03-29 |
System Simulation of MEMS Microaccelerometer |
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| Liu Yu,Wen Zhiyu,Zhang LiuQiang,Liang Yuqian. System Simulation of MEMS Microaccelerometer[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 293-295 |
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| Authors: | Liu Yu Wen Zhiyu Zhang LiuQiang Liang Yuqian |
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