| 氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征 |
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| 引用本文： | 曹培江,朱德亮,马晓翠,潘跃武.氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征[J].真空科学与技术学报,2005,25(5):328-330,354. |
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| 作者姓名： | 曹培江 朱德亮 马晓翠 潘跃武 |
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| 作者单位： | 1. 深圳大学理学院,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060
2. 哈尔滨工业大学深圳研究生院,材料科学与工程学科部,深圳,518055 |
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| 摘 要： | 采用N离子注入金刚石膜和热解石墨方法合成了CNx膜,用Raman光谱和XPS谱对合成薄膜中C、N的化学键合状态进行了研究.通过与Raman光谱的比较,我们对合成样品XPS谱中N1s的化学键合状态作出如下归属:≈400.0 eV属于sp2 C-N键;≈398.5 eV则属于sp3 C-N键.结果显示:碳原子、氮原子间的化学键合状态,明显地依赖于衬底材料及注入N离子的能量.
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| 关 键 词： | N离子注入 金刚石 化学键 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）05-0328-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-31 |
| 修稿时间： | 2005-03-31 |
Chemical Bond Characterization of CNx Films Synthesized by Nitrogen Ion Implantation |
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| Cao Peijiang,Zhu Deliang,Ma Xiaocui,Pan Yuewu.Chemical Bond Characterization of CNx Films Synthesized by Nitrogen Ion Implantation[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(5):328-330,354. |
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| Authors: | Cao Peijiang Zhu Deliang Ma Xiaocui Pan Yuewu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Nitrogen ion implantation Diamond Chemical bond |
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