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| 用浸镀法制备气敏光学薄膜及其性能研究 | |
| 引用本文： | 魏星群,郭斯淦.用浸镀法制备气敏光学薄膜及其性能研究[J].四川激光,1994,15(2):54-56,59. |
| 作者姓名： | 魏星群 郭斯淦 |
| 作者单位： | 中山大学物理系 |
| 摘 要： | 本文作者用浸镀法制备ＳｎＯ２：ＴｉＯ２气敏光学薄膜，薄膜质量有所提高。本方法简便，污染少。并测量了薄膜在乙醇蒸汽中的气敏光学性能。 |
| 关 键 词： | 浸镀法 气敏光学 光学薄膜 传感器 |
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