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| FeZrBCu射频溅射薄膜磁导率和巨磁阻抗效应的研究 | |
| 引用本文： | 陈卫平,萧淑琴,冯尚申,刘宜华.FeZrBCu射频溅射薄膜磁导率和巨磁阻抗效应的研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(4):273-277. |
| 作者姓名： | 陈卫平 萧淑琴 冯尚申 刘宜华 |
| 作者单位： | 1. 浙江台州学院物理系,临海,317000;山东大学物理与微电子学院,济南,250100 2. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 3. 浙江台州学院物理系,临海,317000 |
| 摘 要： | 采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了（Fe0.88Zr0.07B0.05）97Cu3薄膜样品。X射线衍射结果表明，未经任何后期处理的沉积态薄膜为非晶态结构。在5kHz～13MHz频率范围内，着重研究了沉积态样品的有效磁导率和巨磁阻抗（GMI）效应的变化特性。研究结果表明，样品具有极好的软磁性能和GMI效应，其矫顽力仅为58A／m，饱和磁化强度约为1．15×106A／m，在13MHz的频率下最大巨磁阻抗比达到17％。并发现有效磁导率比随外磁场的变化，在各向异性场仇。0．4kA／m处出现了峰值，GMI效应也在此磁场的位置处出现峰值。这表明GMI效应与磁场诱导的有效磁导率的变化紧密关联。 |
| 关 键 词： | 沉积态薄膜 有效磁导率 巨磁阻抗 磁各向异性 |
| 文章编号： | 1672-7126（2037）04-273-05 |
| 修稿时间： | 2006-10-08 |
Permeability and Giant Magnetoimpedance of FeZrBCu RF Sputtered Films |
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| Chen Weiping,Xiao Shuqin,Feng Shangshen,Liu Yihua.Permeability and Giant Magnetoimpedance of FeZrBCu RF Sputtered Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(4):273-277. | |
| Authors: | Chen Weiping Xiao Shuqin Feng Shangshen Liu Yihua |
| Affiliation: | 1. Department of Physics, Zhejiang Taizhou University, Linhai 317000, China; 2. School of physics and Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | As-deposited film Effective permeability Giant magnetoimpedance Magnetic anisotropy |
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