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| 清洗硅片用PFA硅片承载器国内已能生产 | |
| 摘 要： | 北京塑料研究所承担了热塑性氟塑料(PFA)注射成型工艺研究.在1985年12月11日通过部级鉴定,在注射成型工艺研究过程中以PFA树脂为原料,试制出2英寸和3英寸清洗硅片承载器.该承载器有优异的化学稳定性和热稳定性,能耐强酸和强碱的腐蚀,不被极性很强的有机溶剂溶胀,不污染硅片,材质柔软不 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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