| 光栅测量系统芯片后端物理设计与实现 |
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| 引用本文： | 王伟,刘成,侯立刚,张健,吴武臣. 光栅测量系统芯片后端物理设计与实现[J]. 微电子学, 2007, 37(4): 579-583 |
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| 作者姓名： | 王伟 刘成 侯立刚 张健 吴武臣 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,电控学院,集成电路与系统研究室,北京,100022 |
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| 摘 要： | 阐述了一款光栅精密测量系统芯片“EYAS”的后端物理设计与实现。考虑到深亚微米工艺下的互连寄生效应，采用基于硅虚拟原型（SVP）的设计和迭代策略，以布线为中心，并适时进行全面的分析和迭代验证。采用“模拟IP”和改进的数模混合芯片设计流程，实现了模拟和数字部分的联合设计，保证了时序驱动下的持续收敛和可制造性。“EYAS”芯片采用HJTC 0．18μm工艺流片，并经板级测试成功；芯片工作频率为10MHz，正交信号采样率为1．25MHz，封装后芯片面积仅为1．5mm×2．0mm，各项功能正常稳定。以该芯片为控制内核，构建了光栅精密角度／位移测量系统，并应于火炮炮膛螺纹磨损度的精密测量。
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| 关 键 词： | 光栅测量系统 数模混合集成电路 物理设计 布局布线 迭代 |
| 文章编号： | 1004-3365（2007）04-0579-05 |
| 修稿时间： | 2007-01-09 |
Back-end Design and Implementation of Grating Measurement SOC |
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| WANG Wei,LIU Cheng,HOU Li-gang,ZHANG Jian,WU Wu-chen. Back-end Design and Implementation of Grating Measurement SOC[J]. Microelectronics, 2007, 37(4): 579-583 |
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| Authors: | WANG Wei LIU Cheng HOU Li-gang ZHANG Jian WU Wu-chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Grating measurement system Mixed signal IC Physical design Placement and routing Iteration |
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