| SnO2光透射率气敏薄膜的制备 |
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| 引用本文： | 郭竹远,边志华. SnO2光透射率气敏薄膜的制备[J]. 电子工艺技术, 2005, 26(1): 32-34 |
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| 作者姓名： | 郭竹远 边志华 |
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| 作者单位： | 太原理工大学,山西,太原,030024 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶技术,利用旋转涂膜法制备非晶态二氧化锡薄膜,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度.对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了研究.
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| 关 键 词： | 二氧化锡 气敏 薄膜 光透射率 溶胶-凝胶法 |
| 文章编号： | 1001-3474(2005)01-0032-03 |
| 修稿时间： | 2004-08-13 |
Preparation and Study of Transmittance Gas Sensitive SnO2 Thin Film |
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| GUO Zhu-yuan,BIAN Zhi-hua. Preparation and Study of Transmittance Gas Sensitive SnO2 Thin Film[J]. Electronics Process Technology, 2005, 26(1): 32-34 |
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| Authors: | GUO Zhu-yuan BIAN Zhi-hua |
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