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| 氧化钒热敏特性研究 | |
| 引用本文： | 吴志明,蒋亚东,牟宏,黄春华.氧化钒热敏特性研究[J].仪器仪表学报,2003,24(Z2):237-238. |
| 作者姓名： | 吴志明 蒋亚东 牟宏 黄春华 |
| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
| 摘 要： | 采用金属钒作为靶材,利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜.分析了改变溅射总压,溅射时间,溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响,探索了氧化钒的成膜工艺.并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻,薄膜电阻温度特性.最后对样品进行了XPS分析. |
| 关 键 词： | 氧化钒 薄 膜 电阻温度系数 |
Analysis of Thermal Sensing Properties in Vanadium Oxides |
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