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| Young＇s modulus characterization of low-k films of nanoporous Black Diamond~（TM） by surface acoustic waves | |
| 作者姓名： | 单兴锰 肖夏 刘亚亮 |
| 作者单位： | School of Electronic and Information Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China |
| 基金项目： | Project supported by the National Natural Science Fotmdation of China（No.60876072）; the New Century Excellent Talents in University China（No.NCET-08-0389）. |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 表面声波 杨氏模量 纳米多孔 超薄膜 钻石 TM Si（100） 表征 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |