TURBOVAC型磁悬轴承涡轮分子泵

本文介绍一种经过数年积极研制而成的涡轮分子泵，其结构为ＴＵＲＢＯＶＡＣ型，涡轮 转子完全用主动的磁轴承悬挂。因此首先得出了二个特征： 由于不使用有机润滑剂而无碳氢化合物；由于涡轮转子的有利的阻尼性能而产生最小的 振动。文内还分别报导此泵的真空技术特性。