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| 非接触高准确度表面粗糙度测量仪 | |
| 引用本文： | 尤政,于明江.非接触高准确度表面粗糙度测量仪[J].计量技术,1995(3):13-15. |
| 作者姓名： | 尤政 于明江 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系，北京优龙科贸公司 |
| 摘 要： | 本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮郭仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。 |
| 关 键 词： | 表面粗糙度 测量仪 精度 非接触测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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