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| 应用圆筒形行波压电振子的流体抛光实验研究 | |
| 引用本文： | 何勍,徐建立.应用圆筒形行波压电振子的流体抛光实验研究[J].辽宁工学院学报,2014(5). |
| 作者姓名： | 何勍 徐建立 |
| 作者单位： | 辽宁工业大学振动工程研究所; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51075195) |
| 摘 要： | 应用圆筒形行波压电振子设计了流体振动抛光装置。选取压电振子第十阶弯曲模态作为硅片抛光实验的工作模态,利用化学机械抛光浆料作为抛光液体,对不同表面形貌的硅片进行了抛光实验。实验结果表明硅片表面粗糙度得到改善。该方法也说明流体振动抛光更加适用于对已经具有较高表面平整度的抛光片进行二次抛光。 |
| 关 键 词： | 圆筒形压电振子 流体 硅片 化学机械抛光 |
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