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| 激光束诱导电流对HgCdTe器件的研究 | |
| 作者姓名： | 蔡炜颖 陆卫 李志锋 张勤跃 何力 |
| 作者单位： | [1]上海华东师范大学光谱与波谱实验室，上海200062 [2]中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室，上海200083 |
| 摘 要： | HgCdTe红外探测器件是目前研究和使用的主要探测器件之一，pn结构是它的基本功能单元和提高性能的关键之一，由其列阵构成的焦平面是HgCdTe红外探测器件发展的重要方向。因此迫切需要一种方便可行的无损检测方法可以实现对焦平面列阵的在线信息反馈以及针对pn功能结构进行深入研究。激光束诱导电流(LBIC)即是一种以激光为 |
| 关 键 词： | HgCdTe 红外探测器件 激光束诱导电流 pn结 |
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