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TFT制造工艺的简化
摘 要:
随着TFT—LCD电视市场的需求,TFT—LCD基板尺寸不断扩大,使TFT制造工序简化已是迫在眉睫。一般TFT制造工序有5~8道光刻工艺,韩国LG菲利蒲公司于2000年开发了4道光刻TFT制造工序,并于2004年7月起该公司80%TFT生产线采用4道光刻技术。目前该公司正在开发3道光刻技术,而且三星公司也采用了4道光刻技术。4道光刻技术不仅简化了TFT制造工艺,降低制造成本,而且将成为TFT制造主导技术。
关 键 词:
制造工艺
TFT
光刻技术
三星公司
制造工序
光刻工艺
电视市场
制造成本
LCD
生产线
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