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应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统
引用本文:陈海巍.应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统[J].现代信息科技,2023(18):129-132.
作者姓名:陈海巍
摘    要:无掩膜数字光刻机已在PCB光刻及半导体光刻领域逐渐开始应用,相比传统掩膜式光刻机,可缩减光刻流程,节省光刻成本,使光刻数据在线实时调整变得更为简单。而DMD(数字微镜器件)目前作为数字光刻机常用的一种SLM(空间光调制)图形发生器,对其所需要进行的数据处理及控制较为关键。会直接关系到数字光刻机的曝光效率和产能。文章从DMD的驱动控制原理,探讨研究DMD在数字光刻机中的数据处理和控制流程、方法,实现较高的设备光刻效率。

关 键 词:DMD  数字光刻  扫描  数据处理  控制
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