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| ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究 | |
| 引用本文： | 陈进新,徐向宇,王宇.ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究[J].激光与光电子学进展,2014,51(1):11402. |
| 作者姓名： | 陈进新 徐向宇 王宇 |
| 作者单位： | 陈进新:中国科学院光电研究院, 北京 100094中国科学院大学, 北京 100049 徐向宇:中国科学院光电研究院, 北京 100094 王宇:中国科学院光电研究院, 北京 100094 |
| 摘 要： | 电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简化模型。然后基于该电极系统简化模型,在不同电压加载条件下进行了电场仿真。仿真结果表明,放电区域电场分布均匀对称,电极系统设计较为合理。 |
| 关 键 词： | 激光器 ArF准分子激光器 电极系统 电场仿真 放电区域 加载电压 |
| 收稿时间： | 2013/8/1 |
Electrodes System Design and Electric Field Simulation Research of ArF Excimer Laser |
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| Abstract: | |
| Keywords: | lasers ArF excimer laser electrodes system electric field simulation discharge region on-load voltage |
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