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| 微机械加工及其在光器件方面的应用 | |
| 引用本文： | 杨妹清.微机械加工及其在光器件方面的应用[J].光机电信息,1995,12(7):15-18. |
| 作者姓名： | 杨妹清 |
| 摘 要： | 近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述. |
| 关 键 词： | 微机械加工 光器件 半导体制造 工艺 |
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