硅悬臂梁的理论和应用

本文简要描述以硅作为材料的各种悬臂梁的制造和应用,给出悬臂梁机械谐振频率的表达式。以一种简化的模型,详细分析悬臂梁的电学、机械性能,从而阐明悬臂梁阈电压的概念,导出悬臂梁的极化电压和阈电压之间的关系,以及梁的实际机械谐振频率和极化电压之间关系的表达式。