|
|||||
|
|
| SiC薄膜热敏电阻器及温度传感器 | |
| 作者姓名： | 田民波 王英华 |
| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系(田民波，王英华)，清华大学材料科学与工程系(汤海鹏) |
| 摘 要： | 利用射频溅射法用烧结多晶碳化硅靶制取了SiC薄膜热敏电阻器;研究并分析了SiC薄膜从非晶态到晶态的转变过程及有关现象;制取了SiC薄膜温度传感器;对非晶态及晶态SiC薄膜温度传感器的电学性能、热稳定性及热敏特性进行了对比和研究。 |
| 关 键 词： | Sic薄膜 热敏电阻器 温度传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |