| 用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器 |
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| 引用本文： | 杨晋玲.用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器[J].中国测试,2019(9):84-88. |
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| 作者姓名： | 杨晋玲 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 为满足目前对水下金属、蛙人等检测的应用需要,设计一种用于水下金属探测成像的压电式微机械超声换能器。在该结构中,在顶部电极和下电级之间插入AlN层,用于发射和接收超声。当测试距离达到10 m以上就可以满足实际应用需求,而该换能器经过实验得出最远的测试距离为12.8 m,且在12.8 m处测试值与理论值误差仅为0.67 cm,完全可以达到实际检测需要。在一个标准大气压下,利用微系统激光分析仪MSA400对该传感器进行膜位移测量,其测量值为0.28μm,与理论结果误差为1%。并且详细介绍该传感器的工艺实现过程。利用该传感器实现二维水下超声成像,证明水下存在金属矩形物体。该实验有利于水下超声成像系统的建立。
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| 关 键 词： | PMUT C-V测试 超声成像 远距离 |
A piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer for underwater metal detection imaging |
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