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| 用激光测量PECVD膜层应力 | |
| 引用本文： | 耿小敏,吴佩琏.用激光测量PECVD膜层应力[J].激光与红外,1986(2). |
| 作者姓名： | 耿小敏 吴佩琏 |
| 作者单位： | 电子部11所，电子部11所 |
| 摘 要： | 一、前言红外探测器采用等离子体增强化学汽相淀积(简称(PECVD)法制造钝化膜。在沉积过程中,由于淀积膜组分的差异、热应力的影响、膜层同基体的匹配差别,以及膨胀系数的不同等因素,会给膜层引入一定的应力。这种应力在某种程度上会引起位错的增生或运动,致使膜层产生形变,严重时甚至会导致膜层开裂。近年来,国内外文献中有关膜层应力测定的报告大致有四种主要方法:文献1]的作者报告了以激光为光源的光学测量方法;文献2]的作者提出了X光双晶衍射法;文献3]的作者采用了扫描电镜观察的弯曲梁法;文献4]的作者则在应用X光形貌相法。方法虽然各异,但 |
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