| 热处理气氛对Cd2SnO4透明导电膜化学态结构和电导率的影响 |
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| 引用本文： | 曹建,曹学锋.热处理气氛对Cd2SnO4透明导电膜化学态结构和电导率的影响[J].太阳能学报,1997,18(2):212-214. |
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| 作者姓名： | 曹建 曹学锋 |
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| 作者单位： | 中南工业大学 |
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| 摘 要： | 研究了热处理气氛对用无电沉积方法制备的Ｃｄ２ＳｎＯ４导电膜的化学态结构和导电率的影响。Ｘ射线光电子能谱和室温电阻率测量结果表明，以氢气为热处理气氛时，薄膜中的氧空位最高，导电性好，真空处理次之，以氧气为热处理气氛时，氧空位少，薄膜的导电性能差。
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| 关 键 词： | 氧化物半导体 薄膜 化学态结构 电导率 热处理 |
THE EFFECT OF ANNEALING ATMOSPHERE ON THE CHEMICAL STATE AND RESISTIVITY OF TRANSPARENT CONDUCTING FILMS OF Cd 2SnO 4 |
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| Cao,Jian,Cao,Xuefong.THE EFFECT OF ANNEALING ATMOSPHERE ON THE CHEMICAL STATE AND RESISTIVITY OF TRANSPARENT CONDUCTING FILMS OF Cd 2SnO 4[J].Acta Energiae Solaris Sinica,1997,18(2):212-214. |
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| Authors: | Cao Jian Cao Xuefong |
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| Keywords: | Cd 2SnO 4 films XPS resistivity |
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