| 多层减反射膜对PERC太阳电池性能的影响 |
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| 引用本文： | 庞恒强,丁胜,卢宁,薛凯.多层减反射膜对PERC太阳电池性能的影响[J].材料科学与工程学报,2021,39(3):452-460,431. |
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| 作者姓名： | 庞恒强 丁胜 卢宁 薛凯 |
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| 作者单位： | 浙江晶科能源有限公司,浙江 海宁 314400 |
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| 摘 要： | 优化晶体硅材料的光学特性,可有效提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率.采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在钝化发射极和背表面太阳电池(PERC)上成功制备出叠层结构的多层减反射薄膜提升硅材料的光学特性.研究结果表明,正面使用二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅作为器件的叠层介质膜,将SiO2/Si优良的界面性质和SiNx、氮氧化硅稳定的化学性质结合起来,使器件具有稳定的钝化特性.在叠层结构器件中,Si O 2作为缓冲层有利于减少光学损失和钝化表面缺陷态,薄的SiO2几乎不会对多层减反结构产生干扰.SiNx可以有效降低光在器件表面的光学反射率,增加光的透射从而减少器件本身的光学损失.氨气有助于强化氢气在硅片表面的扩散,降低长波的光学损失和降低表面复合速率.PECVD制备的氮氧化硅在短波区域具有很好的吸收效果,表面复合速率明显下降,有效提高器件的短波响应.与此同时,经过热处理的减反射薄膜还可以钝化器件的缺陷,最终提升太阳能电池的减反射性能和钝化性能.
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| 关 键 词： | 钝化发射极和背面电池 氮氧化硅薄膜 叠层介质膜 氢钝化 反射率 转换效率 |
Influence of Multilayer Anti-reflection Coatings on Photoelectric Performances of PERC Solar Cells |
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| PANG Hengqiang,DING Sheng,LU Ning,XUE Kai.Influence of Multilayer Anti-reflection Coatings on Photoelectric Performances of PERC Solar Cells[J].Journal of Materials Science and Engineering,2021,39(3):452-460,431. |
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| Authors: | PANG Hengqiang DING Sheng LU Ning XUE Kai |
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