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TFT阵列工艺简化
摘 要:
三星电子成功开发了3套掩模版TFT阵列工艺技术。一般TFT阵列工艺采用5或4套掩模版技术制作TFT阵列,3套掩模版工艺与4套掩模版工艺相比较,缩短工序,降低生产成本,生产能力提高20%,将增强企业的竞争力。
关 键 词:
TFT阵列
工艺简化
技术制作
生产成本
掩模版
三星电子
能力提高
竞争力
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