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TFT阵列工艺简化
摘    要:三星电子成功开发了3套掩模版TFT阵列工艺技术。一般TFT阵列工艺采用5或4套掩模版技术制作TFT阵列,3套掩模版工艺与4套掩模版工艺相比较,缩短工序,降低生产成本,生产能力提高20%,将增强企业的竞争力。

关 键 词:TFT阵列  工艺简化  技术制作  生产成本  掩模版  三星电子  能力提高  竞争力
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