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亟待开发的无机电子化学品
引用本文:王敏.亟待开发的无机电子化学品[J].精细与专用化学品,2004,12(24):13-14.
作者姓名:王敏
作者单位:辽宁省辽中县辽河化工厂,辽宁,辽中,110200
摘    要:综述了半导体用过氧化氢、氢氟酸、三氧化二锑和二氧化硅薄膜等超细高纯无机电子化学品 ,印刷电路板和电池方面用的高纯二氧化硅、五氧化二锑和二氧化锰等无机电子化学品 ,介绍了超纯过氧化氢、超纯氢氟酸、五氧化二锑和γ 二氧化锰的制备方法。

关 键 词:电子化学品  过氧化氢  氢氟酸  五氧化二锑
修稿时间:2004年7月16日

Inorganic Electronic Chemicals Needed to Develop Urgently
WANG Min.Inorganic Electronic Chemicals Needed to Develop Urgently[J].Fine and Specialty Chemicals,2004,12(24):13-14.
Authors:WANG Min
Abstract:
Keywords:electronic chemicals  hydrogen peroxide  hydrofloric acid  antimony pentoxide
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