| 超精密平面电机控制技术 |
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| 引用本文： | 曹卫,穆海华,周云飞.超精密平面电机控制技术[J].机床与液压,2007,35(5):62-64. |
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| 作者姓名： | 曹卫 穆海华 周云飞 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械学院国家数控工程中心,湖北武汉,430074 |
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| 摘 要： | 分析了平面电机的结构及其原理,提出了相应控制技术.对平面电机的驱动力进行解耦,讨论了磁场非均匀性及磁场耦合对平面电机驱动力非线性的影响,并给出相应的补偿方法.最后给出了平面电机定子垂向对称性标定方法,提高了平面电机的定位精度.
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| 关 键 词： | 超精密 平面电机 控制技术 解耦 超精密 平面电机 控制技术 Motor Planar Technology 定位精度 标定方法 对称性 电机定子 补偿方法 影响 动力非线性 磁场耦合 非均匀性 解耦 驱动力 原理 结构 分析 |
| 文章编号： | 1001-3881(2007)5-062-3 |
| 修稿时间： | 2006-05-16 |
Control Technology of Ultra-precision Planar Motor |
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| CAO Wei,MU Haihua,ZHOU Yunfei.Control Technology of Ultra-precision Planar Motor[J].Machine Tool & Hydraulics,2007,35(5):62-64. |
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| Authors: | CAO Wei MU Haihua ZHOU Yunfei |
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| Affiliation: | National CNC Engineering Center, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ultra-precision Planar motor Control technology Decoupling |
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