微孔膜过滤技术在化学试剂生产中的应用

科学技术的发展,对过滤精度的要求愈来愈高,原来的过滤介质如滤布、砂棒、纤维毡、烧结聚乙烯、多孔金属等已不能适应要求。在大规模集成电路的生产过程中所用的高纯水、溶剂、光刻胶、酸、碱等以及周围环境中的尘埃,即使小至1微米,也会影响电子器件的质量,尤其是近几年发展起来的超大规模集成电路,元件的微型化,对化学试剂的纯度要求更趋严格。微孔膜过滤技术(国外称精密过滤技术)可以滤掉微米、亚微米的颗粒和细菌,达到化学试剂的净化目的。