带压电阀的压强自动控制器

压强自动控制器是实现真空工艺自动化的重要装置。凡要求实现压强恒定、手动或自动程序控制压强变化的场合,如真空钎焊、离子镀、溅射镀、化学淀积等工艺中都可使用。压电陶瓷经高电场极化具有一定的压电性能。把压电陶瓷用于微调充气阀门上,是利用此材料的逆压电效应而做成阀门。在一块弹性薄片的两面分别粘上一块压电陶瓷片。并且在其中一块压电陶瓷片的中心再粘上一块氟橡胶。这样就构成了一个阀片。当在压电陶瓷两极加上0～100伏直流电压时,阀片产生变形而凸起,离开阀座,就改变了流经阀口的气体通量。气体通量的大小与压电陶瓷两极施加的直流电压成正比。