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| 基于CCD的高精度非球面测量与控制技术 | |
| 引用本文： | 洪永强,郭隐彪,蒋文芳.基于CCD的高精度非球面测量与控制技术[J].仪器仪表学报,2002,23(Z1):184-185. |
| 作者姓名： | 洪永强 郭隐彪 蒋文芳 |
| 作者单位： | 厦门大学机电工程系,厦门,361005 |
| 基金项目： | 厦门大学校自选课题Y08004资助项目. |
| 摘 要： | 高精度非球面具有广泛的、潜在的应用前景,非球面加工中的表面精度测量及补偿控制是制约其加工过程的关键因素.提出了基于CCD成像技术在线动态测量非球面的表面精度,研究了在线动态测量控制的结构方案,建立了基于CCD作为测量环节的计算机控制光学表面成形系统,提出了对表面精度的加工采用宏观形貌和微观形貌分段测量与控制的方法. |
| 关 键 词： | 非球面 表面精度 CCD成像 测量与控制 |
Measurement and Control for High-accuracy Aspherical Surface Based on CCD |
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