| LIGA技术及其在微驱动器中的应用 |
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| 引用本文： | 陈刚,张立彬,胥芳. LIGA技术及其在微驱动器中的应用[J]. 微纳电子技术, 2002, 39(3): 33-38 |
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| 作者姓名： | 陈刚 张立彬 胥芳 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学机电工程学院,浙江,杭州,310014 |
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| 摘 要： | 介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。
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| 关 键 词： | LIGA技术 掩模 复制 微驱动器 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)03-0033-06 |
| 修稿时间： | 2001-10-17 |
LIGA technologies and their applications in microactuators |
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| CHEN Gang,ZHANG Li-bin,XU Fang. LIGA technologies and their applications in microactuators[J]. Micronanoelectronic Technology, 2002, 39(3): 33-38 |
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| Authors: | CHEN Gang ZHANG Li-bin XU Fang |
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| Abstract: | LIGA process and the actualities of multiple masks technology,replication technolo gy and contour polishing tech nology are introduced.The application of LIGA technologies in mi croactuators are presented. |
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| Keywords: | LIGA technology mask replication microactuator |
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