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离化的团粒束沉积镀膜技术

引用本文：	王漫.离化的团粒束沉积镀膜技术[J].国外核聚变与等离子体应用,1992(4):49-60.

作者姓名：	王漫

摘要：
关键词：	离化团粒束沉积薄膜镀膜
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