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| 溅射设备真空系统故障与诊断 | |
| 作者姓名： | 谢其中 谢长生 |
| 作者单位： | 华中理工大学 武汉市430074(谢其中，谢长生)，华中理工大学 武汉市430074(王立环) |
| 摘 要： | 本文介绍了应用真空溅射方法形成膜层，设备真空系统常见故障诊断及排除。 |
| 关 键 词： | 溅射 真空系统 故障 诊断 镀膜 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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