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| 微光成型法三维成型装置的研制 | |
| 作者姓名： | 王翔 沈连官 李川奇 何新 赵钢 钱泽旭 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 |
| 基金项目： | 国防预研基金支持项目（98002） |
| 摘 要： | 简要介绍了微光成型技术的原理,主要分析了适用于微光成型技术制造微结构的三维成型装置的设计方法,并通过计算和实际检测,证明本设计可靠实用。 |
| 关 键 词： | 微光成型法 工作台 VXD 三维成型装置 研制 |
| 文章编号： | 1001-3997(2001)04-0073-03 |
| 修稿时间： | 2000-12-21 |
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