| Si(100)在NaOH/NH4F/Na2CO3体系中的绒面制备 |
| |
| 引用本文： | 储清梅,刘翔,张鹏翔,戴永年.Si(100)在NaOH/NH4F/Na2CO3体系中的绒面制备[J].电源技术,2012,36(9):1301-1302. |
| |
| 作者姓名： | 储清梅 刘翔 张鹏翔 戴永年 |
| |
| 作者单位： | 昆明理工大学真空冶金及材料研究所,云南昆明,650051 |
| |
| 摘 要： | 用NaOH/NH4F/Na2CO3溶液体系对单晶硅(100)进行了表面织构.结果发现腐蚀所得表面沟壑纵横,沟壑间是类似金字塔的小凸起.在优化条件下,平均反射率低且不随腐蚀时间的延长而增大,可重复性好,是比较理想的碱腐蚀液.
|
| 关 键 词： | 单晶硅 腐蚀 表面织构 NaOH/NH4F/Na2CO3溶液 |
Texturization of Si(100) in alkaline fluoride solution |
| |
| CHU Qing-mei
,
LIU Xiang
,
ZHANG Peng-xiang
,
DAI Yong-nian.Texturization of Si(100) in alkaline fluoride solution[J].Chinese Journal of Power Sources,2012,36(9):1301-1302. |
| |
| Authors: | CHU Qing-mei LIU Xiang ZHANG Peng-xiang DAI Yong-nian |
| |
| Affiliation: | (Institute of Vacuum Metallurgy and Materials,Kunming University of Science and Technology,Kunming Yunnan 650051,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
