| CoFeZrRE磁性薄膜微波电磁特性研究 |
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| 引用本文： | 邓联文,何华辉,冯则坤,江建军,张秀成,熊惟皓.CoFeZrRE磁性薄膜微波电磁特性研究[J].稀有金属材料与工程,2006,35(6):986-989. |
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| 作者姓名： | 邓联文 何华辉 冯则坤 江建军 张秀成 熊惟皓 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 研究在微波段具有高磁导率和大磁损耗的CoFeZrRE薄膜,采用射频磁控溅射工艺制备该类薄膜,探讨了工艺参数和薄膜厚度对CoFeZrRE薄膜结构和电磁性能的影响.重点研究了掺杂稀土元素的含量和种类对薄膜磁各向异性、饱和磁化强度等基本磁参量以及微波磁导率和磁损耗的影响.结果表明,重稀土元素（如Dy,Tb）提高微波磁损耗的效果更显著;CoFeZrRE类薄膜具有较高的微波磁导率和磁损耗（2 GHz处,μ＇和μ＂均高于200）,有望在微波吸收和抗电磁干扰领域获得广泛应用.
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| 关 键 词： | 磁性薄膜 微波磁导率 稀土元素 |
| 文章编号： | 1002-185X(2006)06-0986-04 |
| 收稿时间： | 2005-07-14 |
| 修稿时间： | 2005年7月14日 |
Microwave Electromagnetic Characteristics of CoFeZrRE Magnetic Films |
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| Deng Lianwen,He Huahui,Feng Zekun,Jiang Jianjun,Zhang Xiucheng,Xiong Weihao.Microwave Electromagnetic Characteristics of CoFeZrRE Magnetic Films[J].Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(6):986-989. |
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| Authors: | Deng Lianwen He Huahui Feng Zekun Jiang Jianjun Zhang Xiucheng Xiong Weihao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetic film microwave permeability rare earth element |
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