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氧化物对(111)锗片表面少子寿命的影响研究
引用本文:杨成林,梁萍兰,问明亮,席珍强.氧化物对(111)锗片表面少子寿命的影响研究[J].浙江理工大学学报,2011,28(4).
作者姓名:杨成林  梁萍兰  问明亮  席珍强
作者单位:浙江理工大学材料工程中心,杭州,310018
摘    要:为了提高(111)锗片表面少子寿命,分别采用体积分数30%过氧化氢和硝酸作为氧化剂,对试样表面进行湿化学氧化,得到表面的氧化层.利用微波光电导衰减仪测量试样在氧化反应前后的少子寿命变化情况,采用X射线光电子能谱测试样的Ge3d谱图,并进行机理分析.结果发现:经过过氧化氢处理的试样少子寿命得到很大提高,分析是由于GeO2钝化了锗表面悬挂键而达到了钝化效果.

关 键 词:过氧化氢    氧化物  少子寿命  XPS

Study on the Effect of Oxidation on the Germanium Surface
YANG Cheng-lin,LIANG Ping-lan,WEN Ming-liang,XI Zhen-qiang.Study on the Effect of Oxidation on the Germanium Surface[J].Journal of Zhejiang Sci-tech University,2011,28(4).
Authors:YANG Cheng-lin  LIANG Ping-lan  WEN Ming-liang  XI Zhen-qiang
Affiliation:YANG Cheng-lin,LIANG Ping-lan,WEN Ming-liang,XI Zhen-qiang(Material Engineering Center,Zhejiang Sci-Tech University,Hangzhou 310018,China)
Abstract:
Keywords:hydrogen dioxide  germanium  oxides  minority lifetime  XPS  
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