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电子散斑干涉术
引用本文:郑光昭. 电子散斑干涉术[J]. 广东工业大学学报, 2002, 19(3): 11-13,24
作者姓名:郑光昭
作者单位:广东工业大学,信息工程学院,广东,广州,516043
基金项目:广东工业大学重点学科基金资助(XZ200102),广东省教育厅重点实验室《现代信息技术实验室》建设项目,《广州市仪器仪表学会2001年会及学术论文报告会》宣读论文.
摘    要:简要介绍电子散斑干涉计量技术的实验系统组成、实验方法以及面内位移、离面位移的测量原理,并讨论了散斑的大小对测量系统的影响。

关 键 词:散斑 电子散斑干涉计量术 面内位移 离面位移 测量原理 测量系统
文章编号:1007-7162(2002)03-0011-03

On Electronic Speckle Pattern Interferometry
Abstract:
Keywords:
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