用环形连续氩激光束在无定形衬底上实现硅的再结晶 |
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引用本文: | 赵天吉.用环形连续氩激光束在无定形衬底上实现硅的再结晶[J].激光与光电子学进展,1983,20(9):23. |
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作者姓名: | 赵天吉 |
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作者单位: | 赵天吉:
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摘 要: | 改变连续氩激光束的模式,在SiO2上生成了大于600微米长的连续单晶硅膜,一种是由大块的硅籽晶横向外延生长的,一种没有横向外延。为了抑制在熔化区两边产生竞争成核,采用环形光束代替通常的高斯分布。控制激光斑的热分布。结果表明,液-固交界面处的线轮廓是硅的再生长机理中最主要的限制参数。
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