| 低温多晶硅TFT技术的发展 |
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| 引用本文： | 尹盛,刘陈,钟志有,王长安,徐重阳. 低温多晶硅TFT技术的发展[J]. 现代显示, 2003, 0(1): 33-37 |
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| 作者姓名： | 尹盛 刘陈 钟志有 王长安 徐重阳 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 本文综述低温多晶硅（LTPS）TFT技术的最新进展情况。该技术目前的研究前沿是：（1）制作高性能的TFT；（2）在柔性衬底上制作LTPS TFT；（3）驱动有机发光器件的TFT；（4）LTPS TFT的新应用。同时还展望了LTPS TFT技术的未来发展趋势。
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| 关 键 词： | TFT 低温多晶硅 薄膜晶体管 平板显示 液晶显示 LTPS 发展趋势 |
| 文章编号： | 1006-6268(2003)01-0033-05 |
| 修稿时间： | 2002-10-24 |
The Development of Low Temperature Poly-Si TFT Technology |
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| YIN Sheng,LIU Chen,ZHONG Zhi-you,WANG Chang-an,XU Chong-yang. The Development of Low Temperature Poly-Si TFT Technology[J]. Advanced Display, 2003, 0(1): 33-37 |
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| Authors: | YIN Sheng LIU Chen ZHONG Zhi-you WANG Chang-an XU Chong-yang |
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| Abstract: | This paper describes the progress and current status of low tempera ture poly-Si(LTPS)TFT technology.The focus of current research is on:(1)High-performance TFTs;(2)Poly-Si TFTs directly fabricated on plastic films;(3)The integration of active matrix poly-Si TFT technology with OLED displays;(4)New applications of LTPS TFTs.The future trends of LTPS TFT technology are also presented. |
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| Keywords: | low temperature poly-Si thin-film transition flat-panel display |
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