| 基于光谱法的晶体厚度测量 |
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| 引用本文： | 孙宏波,吴国忠,等.基于光谱法的晶体厚度测量[J].光学仪器,2003,25(1):3-7. |
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| 作者姓名： | 孙宏波 吴国忠 等 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
2. 浙江大学电气学院电子技术研究所,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目 ( 60 1770 13 )，宁波市科委—浙大专项资金资助项目 |
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| 摘 要： | 首次提出利用光谱特性来确定晶体厚度。从理论上推导出其实现的可行性 ,然后结合实验分析了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法 ,并分析了影响测量精度的主要因素。
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| 关 键 词： | 晶体厚度测量 光谱法 |
| 文章编号： | 1005-5630(2003)01-0003-05 |
| 修稿时间： | 2002年8月4日 |
Crystal thickness determination based on spectroscopic methodology |
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| SUN Hong-bo,HE Ying-bo,WU Guo-zhong,ZENG Guang-jie,YU Fei-hong.Crystal thickness determination based on spectroscopic methodology[J].Optical Instruments,2003,25(1):3-7. |
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| Authors: | SUN Hong-bo HE Ying-bo WU Guo-zhong ZENG Guang-jie YU Fei-hong |
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| Affiliation: | SUN Hong-bo 1,HE Ying-bo 1,WU Guo-zhong 2,ZENG Guang-jie 1,YU Fei-hong 1 |
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| Abstract: | The theoretical basis of crystal thickness determination based on spectroscopic methodology is introduced for the first time in this paper. The implementation of the measurement system and the algorithm of calculating crystal thickness are also presented. Finally, the factors affecting the measurement result are also discussed. |
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| Keywords: | crystal thickness measurement spectroscopic methodology |
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