用于光学放大的掺铒氧化铝脊型波导研究 |
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引用本文: | 邬健,杨振,魏腾秀,张政,王威,刘瑞雪,王荣平.用于光学放大的掺铒氧化铝脊型波导研究[J].应用激光,2023(2):127-133. |
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作者姓名: | 邬健 杨振 魏腾秀 张政 王威 刘瑞雪 王荣平 |
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作者单位: | 宁波大学高等技术研究院红外材料与器件实验室 |
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基金项目: | 国家重点研发计划项目(2020YFB1805900); |
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摘 要: | 使用磁控溅射制备了掺铒氧化铝薄膜,对薄膜进行了退火处理,测量薄膜的折射率和X射线衍射图谱,发现薄膜在600℃的退火温度下呈非晶态,在1.5μm处的折射率为1.67左右。模拟模场分布,获得光与掺铒层之间相互作用最大的波导结构参数,并进一步优化制备条件,实现侧壁光滑的低损耗掺铒氧化铝脊型波导。在1.31μm的波长下,2μm宽度的氧化铝脊型波导的损耗为1.6 dB/cm,和使用超快激光灼烧的方法所制备出的损耗为3.8 dB/cm氧化铝脊型波导相比,损耗大为降低。结果表明,掺铒氧化铝波导在平面集成波导放大器应用方面极具潜力。
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关 键 词: | 氧化铝薄膜 射频溅射 紫外光刻 脊型波导 干法刻蚀 |
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