| 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制 |
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| 引用本文： | 魏强,张玉林,于欣蕾,郝慧娟,卢文娟.扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制[J].青岛大学学报(工程技术版),2006,21(2):1-6. |
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| 作者姓名： | 魏强 张玉林 于欣蕾 郝慧娟 卢文娟 |
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| 作者单位： | 山东大学控制科学与工程学院,山东,济南,250061;泰山学院物理系,山东,泰安,271021;山东大学控制科学与工程学院,山东,济南,250061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)，国家自然科学基金资助项目(10572078)，山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03) |
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| 摘 要： | 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 工作台 压电陶瓷 神经网络 |
| 文章编号： | 1006-9798(2006)02-0001-06 |
| 修稿时间： | 2005年9月5日 |
Neural Network Control of Scanning Tunneling Microscope Precision Stage |
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| WEI Qiang,ZHANG Yu-lin,YU Xin-lei,HAO Hui-juan,LU Wen-juan.Neural Network Control of Scanning Tunneling Microscope Precision Stage[J].Journal of Qingdao University(Engineering & Technology Edition),2006,21(2):1-6. |
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| Authors: | WEI Qiang ZHANG Yu-lin YU Xin-lei HAO Hui-juan LU Wen-juan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope precision stage piezoelectric ceramics neural network control |
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