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| 气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评 | |
| 作者姓名： | 马胜利 徐可为 等 |
| 作者单位： | [1]西北工业大学金属凝固技术国家重点实验室，西安710072 [2]西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安710049 |
| 摘 要： | 本对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评，重点强调了等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）的优势，进展及其在工模具领域的应用。 |
| 关 键 词： | 制备 气相沉积技术 硬质薄膜 PCVD 等离子体辅助化学气相沉积 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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