| 适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法 |
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| 引用本文： | 岳恒,张丛春,李建华,杨卓青,汪红,丁桂甫,赵小林.适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法[J].微纳电子技术,2014(1). |
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| 作者姓名： | 岳恒 张丛春 李建华 杨卓青 汪红 丁桂甫 赵小林 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术重点实验室;淮海工业集团有限公司; |
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| 基金项目： | 国家级重点实验室基金资助项目(9140C790103120C79268);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF13001) |
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| 摘 要： | 主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明,在0.05 mol/L的盐酸中腐蚀6 h后制备的NPC孔径为80~120 nm,而系带尺寸为20~40 nm,利用BET法测得其比表面积为8.12 m2/g。另外,应用微加工工艺制备出边长为50μm方形微阵列,验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性,为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案。
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| 关 键 词： | 电沉积 前驱合金 纳米多孔铜(NPC) 去合金 微加工工艺 |
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