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杂志ISSN号
市场
作者姓名:
王玲
摘 要:
正SPTS科技DRIE模块订单超过1 000件SPTS科技宣布其深反应离子蚀刻(DRIE)模块的订单数量达到了新的里程碑,销量达1 000件。该消息在新加坡MEMS论坛上发布,以彰显该国的MEMS市场飞速增长。DRIE是Bosch公司创始人Robert Bosch于1994年利用其专利工艺开发的,而SPTS科技则是最早获得Bosch工艺许可的合作商,其于1995年推出了公司首款商业系统。自那时起,SPTS科技的DRIE工艺不断得到
关 键 词:
传感器阵列
反应离子蚀刻
工艺开发
科技
市场
商业系统
模块
里程碑
订单
新加坡
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