|
|||||
|
|
| 市场 | |
| 作者姓名： | 王玲 |
| 摘 要： | 正SPTS科技DRIE模块订单超过1 000件SPTS科技宣布其深反应离子蚀刻(DRIE)模块的订单数量达到了新的里程碑,销量达1 000件。该消息在新加坡MEMS论坛上发布,以彰显该国的MEMS市场飞速增长。DRIE是Bosch公司创始人Robert Bosch于1994年利用其专利工艺开发的,而SPTS科技则是最早获得Bosch工艺许可的合作商,其于1995年推出了公司首款商业系统。自那时起,SPTS科技的DRIE工艺不断得到 |
| 关 键 词： | 传感器阵列 反应离子蚀刻 工艺开发 科技 市场 商业系统 模块 里程碑 订单 新加坡 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |