钝化膜的物理和化学测试技术简述

本文综述了电子能谱法、二次离子质谱法、核实验技术、光谱法及分光光度法分析膜层的组分化学式量比及杂质的分布,以及膜层的厚度、折射率、密度、应力、针孔、腐蚀,速率、台阶覆盖的物理测试方法;简要叙述部分测试方法的基本原理,着重介绍实用技术。